Folie dielektryczne Sprzęt do powlekania optycznego Ar N2 O2 PVD Napylanie magnetronowe
Aplikacje
| Aplikacje | Konkretny cel | typ materiału |
| półprzewodnikowy | IC, elektroda LSI, folia okablowania | AI, Al-Si, Al-Si-Cu, Cu, Au, Pt, Pd, Ag |
| Elektroda pamięci VLSI | Mo, W, Ti | |
| Folia barierowa dyfuzyjna | MoSix, Wsix, TaSix,, TiSx, W, Mo, W-Ti | |
| Folia samoprzylepna | PZT(Pb-ZrO2-Ti) , Ti, W | |
| Wyświetlacz | Przezroczysta folia przewodząca | ITO(In2O; -SnO2) |
| Folia okablowania elektrody | Mo, W, Cr, Ta, Ti, Al, AlTi, AITa | |
| Folia elektroluminescencyjna |
ZnS-Mn, ZnS-Tb, CaS-Eu, Y2O3, Ta2O5, BaTiO3 |
|
| Zapis magnetyczny | Pionowa taśma magnetyczna do nagrywania | CoCr |
| Film na dysk twardy | CoCrTa, CoCrPt, CoCrTaPt | |
| Cienkowarstwowa głowica magnetyczna | CoTaZr, CoCrZr | |
| Folia ze sztucznego kryształu | CoPt, CoPd | |
| Nagrywanie optyczne | Film do nagrywania płyt ze zmianą fazy | TeSe, SbSe, TeGeSb itp |
| Film do nagrywania dysku magnetycznego |
TbFeCo, DyFeCo, TbGdFeCo, TbDyFeCo |
|
| Folia odblaskowa na dysk optyczny | AI, AITi, AlCr, Au, stop Au | |
| Folia ochronna na dysk optyczny | Si3N4, SiO22+ZnS | |
| Cienkowarstwowa bateria perowskitowa | Przezroczysta warstwa przewodząca | ZnO: Al |
| Leczenie | Materiały biokompatybilne | Glin2O3, TiO22 |
| Powłoka dekoracyjna | Folia kolorowa, Folia metalizowana | Glin2O3, TiO22i wszelkiego rodzaju folii metalowych |
| Powłoka zapobiegająca przebarwieniom | Powłoka antyutleniająca z metali szlachetnych | Glin2O3, TiO22 |
| Folie optyczne | Wysoki-niski współczynnik załamania światła | SiO2, TiO22, Ta2O5, ZrO2, HfO2 |
| Inne aplikacje | Folia światłoodporna | Cr, AlSi, AlTi itp |
| Folia rezystancyjna | NiCrSi, CrSi, MoTa itp | |
| Film nadprzewodzący | YbaCuO, BiSrCa Cuo | |
| Folia magnetyczna | Fe, Co, Ni, FeMn, FeNi itp |
Cechy
| Model | MSC700-750-700 |
| Rodzaj powłoki | Różne folie dielektryczne, takie jak folia metalowa, tlenek metalu i AIN |
| Zakres temperatur malowania | Normalna temperatura do 500 ℃ (konfigurowalny) |
| Rozmiar komory próżniowej do powlekania | 700 mm * 750 mm * 700 mm (konfigurowalny) |
| Próżnia w tle | <5×10-7mbar |
| Grubość powłoki | ≥10 nm |
| Precyzja kontroli grubości | ≤±3% |
| Maksymalny rozmiar powłoki | ≥100 mm (konfigurowalny) |
| Jednorodność grubości folii | ≤±0,5% |
| Nośnik podłoża | Z planetarnym mechanizmem obrotowym |
| Materiał docelowy | 4x4 cale (kompatybilny z 4 calami i mniej) |
| Zasilacz | Zasilacze, takie jak DC, impulsowe, RF, IF i bias są opcjonalne |
| Gaz procesowy | Ar, N2, o2 |
| Uwaga: Dostępna produkcja na zamówienie. | |
Próbka powłoki
Kroki procesu
→ Umieścić podłoże do powlekania w komorze próżniowej;
→ Z grubsza odkurzyć;
→ Włącz pompę molekularną, odkurz na najwyższych obrotach, a następnie włącz obroty i obracanie;
→ Ogrzewanie komory próżniowej do osiągnięcia temperatury docelowej;
→ Wdrożyć stałą kontrolę temperatury;
→ Czyste elementy;
→ Obróć się i wróć do początku;
→ Folia powlekająca zgodnie z wymaganiami procesu;
→ Obniżyć temperaturę i zatrzymać zespół pompy po malowaniu;
→ Przestań działać, gdy operacja automatyczna zostanie zakończona.
Zasada działania
Napylanie magnetronowe jest rodzajem fizycznego osadzania z fazy gazowej (PVD).Sprawia, że elektrony poruszają się po spirali
ścieżkiw pobliżu powierzchni docelowej przez interakcję między polami magnetycznymi i elektrycznymi, zwiększając w ten sposób
prawdopodobieństwoelektronyuderzając w argon w celu wytworzenia jonów.Wygenerowane jony następnie uderzają w powierzchnię docelową
pod działaniempole elektryczne irozpylać materiały docelowe, aby osadzić cienką warstwę na powierzchni podłoża.
Rozpylanie ogólnemożna zastosować metodędo preparatyki różnych metali, półprzewodników, ferromagnetyków
materiałów, jak również izolowane tlenki, ceramika iinne substancje.Sprzęt wykorzystuje PLC+ touch
płytasystem sterowania HMI,który może wprowadzać parametry przezprogramowalny interfejs procesowy z funkcjami
takijako rozpylanie pojedynczego celu,sekwencyjne napylanie wielotarczowei współrozpylanie.
Nasze atuty
Jesteśmy producentem.
Dojrzały proces.
Odpowiedz w ciągu 24 godzin roboczych.
Nasz certyfikat ISO
Części naszych patentów
Części naszych nagród i kwalifikacji w zakresie badań i rozwoju
Nasze produkty sprzedawane są na całym świecie. Możesz być spokojny o cały proces naszych produktów.
