Folie dielektryczne Sprzęt do powlekania optycznego Ar N2 O2 PVD Napylanie magnetronowe
Aplikacje
| Aplikacje | Konkretny cel | typ materiału |
| półprzewodnikowy | IC, elektroda LSI, folia okablowania | AI, Al-Si, Al-Si-Cu, Cu, Au, Pt, Pd, Ag |
| Elektroda pamięci VLSI | Mo, W, Ti | |
| Folia barierowa dyfuzyjna | MoSix, Wsix, TaSix,, TiSx, W, Mo, W-Ti | |
| Folia samoprzylepna | PZT(Pb-ZrO2-Ti) , Ti, W | |
| Wyświetlacz | Przezroczysta folia przewodząca | ITO(In2O; -SnO2) |
| Folia okablowania elektrody | Mo, W, Cr, Ta, Ti, Al, AlTi, AITa | |
| Folia elektroluminescencyjna |
ZnS-Mn, ZnS-Tb, CaS-Eu, Y2O3, Ta2O5, BaTiO3 |
|
| Zapis magnetyczny | Pionowa taśma magnetyczna do nagrywania | CoCr |
| Film na dysk twardy | CoCrTa, CoCrPt, CoCrTaPt | |
| Cienkowarstwowa głowica magnetyczna | CoTaZr, CoCrZr | |
| Folia ze sztucznego kryształu | CoPt, CoPd | |
| Nagrywanie optyczne | Film do nagrywania płyt ze zmianą fazy | TeSe, SbSe, TeGeSb itp |
| Film do nagrywania dysku magnetycznego |
TbFeCo, DyFeCo, TbGdFeCo, TbDyFeCo |
|
| Folia odblaskowa na dysk optyczny | AI, AITi, AlCr, Au, stop Au | |
| Folia ochronna na dysk optyczny | Si3N4, SiO22+ZnS | |
| Cienkowarstwowa bateria perowskitowa | Przezroczysta warstwa przewodząca | ZnO: Al |
| Leczenie | Materiały biokompatybilne | Glin2O3, TiO22 |
| Powłoka dekoracyjna | Folia kolorowa, Folia metalizowana | Glin2O3, TiO22i wszelkiego rodzaju folii metalowych |
| Powłoka zapobiegająca przebarwieniom | Powłoka antyutleniająca z metali szlachetnych | Glin2O3, TiO22 |
| Folie optyczne | Wysoki-niski współczynnik załamania światła | SiO2, TiO22, Ta2O5, ZrO2, HfO2 |
| Inne aplikacje | Folia światłoodporna | Cr, AlSi, AlTi itp |
| Folia rezystancyjna | NiCrSi, CrSi, MoTa itp | |
| Film nadprzewodzący | YbaCuO, BiSrCa Cuo | |
| Folia magnetyczna | Fe, Co, Ni, FeMn, FeNi itp |
Cechy
| Model | MSC700-750-700 |
| Rodzaj powłoki | Różne folie dielektryczne, takie jak folia metalowa, tlenek metalu i AIN |
| Zakres temperatur malowania | Normalna temperatura do 500 ℃ (konfigurowalny) |
| Rozmiar komory próżniowej do powlekania | 700 mm * 750 mm * 700 mm (konfigurowalny) |
| Próżnia w tle | <5×10-7mbar |
| Grubość powłoki | ≥10 nm |
| Precyzja kontroli grubości | ≤±3% |
| Maksymalny rozmiar powłoki | ≥100 mm (konfigurowalny) |
| Jednorodność grubości folii | ≤±0,5% |
| Nośnik podłoża | Z planetarnym mechanizmem obrotowym |
| Materiał docelowy | 4x4 cale (kompatybilny z 4 calami i mniej) |
| Zasilacz | Zasilacze, takie jak DC, impulsowe, RF, IF i bias są opcjonalne |
| Gaz procesowy | Ar, N2, o2 |
| Uwaga: Dostępna produkcja na zamówienie. | |
Kroki procesu
→ Umieścić podłoże do powlekania w komorze próżniowej;
→ Z grubsza odkurzyć;
→ Włącz pompę molekularną, odkurz na najwyższych obrotach, a następnie włącz obroty i obracanie;
→ Ogrzewanie komory próżniowej do osiągnięcia temperatury docelowej;
→ Wdrożyć stałą kontrolę temperatury;
→ Czyste elementy;
→ Obróć się i wróć do początku;
→ Folia powlekająca zgodnie z wymaganiami procesu;
→ Obniżyć temperaturę i zatrzymać zespół pompy po malowaniu;
→ Przestań działać, gdy operacja automatyczna zostanie zakończona.
Próbka powłoki
Zasada działania
Napylanie magnetronowe jest rodzajem fizycznego osadzania z fazy gazowej (PVD).Sprawia, że elektrony poruszają się po spirali
ścieżki w pobliżu powierzchni docelowej przez interakcję między polami magnetycznymi i elektrycznymi, zwiększając w ten sposób
prawdopodobieństwo elektronówuderzając w argon w celu wytworzenia jonów. Wytworzone jony następnie uderzają w powierzchnię docelową
pod działaniem pola elektrycznego irozpylać materiały docelowe, aby osadzić cienką warstwę na powierzchni podłoża.
Można zastosować ogólną metodę rozpylaniado preparatyki różnych metali, półprzewodników, ferromagnetyków
materiałów, a także izolowane tlenki, ceramika iinne substancje.Sprzęt wykorzystuje PLC+ touch
system sterowania panelem HMI, za pomocą którego można wprowadzać parametryprogramowalny interfejs procesowy z funkcjami
takie jak rozpylanie pojedynczego celu, sekwencyjne rozpylanie wielu celówi współrozpylanie.
Nasze atuty
Jesteśmy producentem.
Dojrzały proces.
Odpowiedz w ciągu 24 godzin roboczych.
Nasz certyfikat ISO
Części naszych patentów
Części naszych nagród
W Grupie ZEIT rozwiązujemy wszystkie Twoje problemy, oferując najwyższej jakości usługi dostosowane do indywidualnych potrzeb, będąc zaufanym partnerem i dostarczając niezrównane rozwiązania technologiczne.Nasi certyfikowani inżynierowie usług terenowych zapewniają całodobowe wsparcie na całym świecie, dzięki czemu Twoje cele badawczo-rozwojowe lub produkcyjne są realizowane.
Nasze produkty sprzedawane są na całym świecie. Możesz być spokojny o cały proces naszych produktów.
