Detektor defektów powierzchni w przemyśle układów scalonych
Aplikacje
Do kontroli procesu i zarządzania wydajnością pustej maski w dziedzinie produkcji układów scalonych,
możemy pomóc producentom szklanych podłoży i masek zidentyfikować i monitorować wady masek, zmniejszyć ryzyko
uzyskiwać i poprawiać swoje niezależne zdolności badawczo-rozwojowe w zakresie podstawowych technologii.
Zasada działania
Wady na powierzchni maski mogą być automatycznie wykrywane na podstawie trzech aspektów: wydajności układu optycznego,
wydajność kamery i wydajność platformy ruchu.
Cechy
| Model | SDD-ICC-X—X | |
|
Wykrywanie wydajności |
Wykrywalny typ defektu | Zadrapania, Kurz |
| Wykrywalny rozmiar defektu | 1μm | |
| Dokładność wykrywania (zmierzona) |
100% wykrywanie wad / odbiór wady (zarysowania, kurz) |
|
| Skuteczność wykrywania |
≤10 minut (Zmierzona wartość: maska 350 mm x 300 mm) |
|
|
Wydajność systemu optycznego |
Rezolucja | 1,8μm |
| Powiększenie | 40x | |
| Pole widzenia | 0,5 mm x 0,5 mm | |
| Podświetlenie światłem niebieskim | 460 nm, 2,5 W | |
|
Wydajność platformy ruchu
|
Ruch dwuosiowy X, Y Płaskość marmurowego blatu: 2,5 μm Dokładność bicia osi Y w kierunku Z: ≤ 10,5 μm Precyzja bicia osi Y w kierunku Z: ≤8,5 μm |
|
| Uwaga: Dostępna produkcja na zamówienie. | ||
Obrazy wykrywania
Nasze atuty
Jesteśmy producentem.
Dojrzały proces.
Odpowiedz w ciągu 24 godzin roboczych.
Nasz certyfikat ISO
Części naszych patentów
Części naszych nagród i kwalifikacji w zakresie badań i rozwoju
Nasze produkty sprzedawane są na całym świecie. Możesz być spokojny o cały proces naszych produktów.
