Osadzanie warstw atomowych w przemyśle układów mikroelektromechanicznych
Aplikacje
| Aplikacje | Konkretny cel |
|
Systemy mikroelektromechaniczne (MEMS) |
Powłoka przeciwzużyciowa |
| Powłoka antyadhezyjna | |
| Powłoka smarująca |
Zasada działania
Pojedyncza warstwa atomowa zostanie osadzona w każdym cyklu procesu.Proces powlekania zwykle zachodzi w reakcji
komory, a gazy procesowe wtryskiwane są sukcesywnie.Alternatywnie podłoże można przenosić między dwoma
strefy wypełnione różnymi prekursorami (przestrzenne ALD) w celu realizacji procesu.Cały proces, w tym wszystkie reakcje
i operacje oczyszczania będą powtarzane wielokrotnie, aż do uzyskania pożądanej grubości powłoki.Specyficzny
stan fazy początkowej jest określony przez właściwości powierzchni podłoża, a następnie grubość warstwy wzrośnie
stale wraz ze wzrostem liczby cykli reakcji. Jak dotąd grubość folii można dokładnie kontrolować.
Cechy
| Model | ALD-MEMS-X—X |
| System folii do powlekania | glin2O3,TiO22,ZnO itp |
| Zakres temperatur malowania | Normalna temperatura do 500 ℃ (konfigurowalny) |
| Rozmiar komory próżniowej do powlekania |
Średnica wewnętrzna: 1200 mm, wysokość: 500 mm (konfigurowalny) |
| Struktura komory próżniowej | Zgodnie z wymaganiami klienta |
| Próżnia w tle | <5×10-7mbar |
| Grubość powłoki | ≥0,15 nm |
| Precyzja kontroli grubości | ±0,1 nm |
| Rozmiar powłoki | 200×200mm² / 400×400mm² / 1200×1200mm² itp |
| Jednorodność grubości folii | ≤±0,5% |
| Gaz prekursorowy i nośny |
Trimetyloglin, tetrachlorek tytanu, dietylocynk, czysta woda, |
| Uwaga: Dostępna produkcja na zamówienie. | |
Próbki powłok
Kroki procesu
→ Umieścić podłoże do powlekania w komorze próżniowej;
→ Odkurz komorę próżniową w wysokiej i niskiej temperaturze i synchronicznie obracaj podłoże;
→ Start powlekania: podłoże kontaktuje się z prekursorem w sekwencji i bez jednoczesnej reakcji;
→ Przedmuchaj go azotem o wysokiej czystości po każdej reakcji;
→ Przestań obracać podłoże, gdy grubość powłoki osiągnie standardową wartość, a operacja czyszczenia i chłodzenia zostanie zakończona
zakończone, a następnie wyjmij podłoże po spełnieniu warunków przerwania próżni.
Nasze atuty
Jesteśmy producentem.
Dojrzały proces.
Odpowiedz w ciągu 24 godzin roboczych.
Nasz certyfikat ISO
Części naszych patentów
Części naszych nagród i kwalifikacji w zakresie badań i rozwoju
Nasze produkty sprzedawane są na całym świecie. Możesz być spokojny o cały proces naszych produktów.
