Osadzanie warstwy atomowej w polu powłoki ochronnej
Aplikacje
| Aplikacje | Konkretny cel |
| Powłoka ochronna | Powłoka odporna na korozję |
| Powłoka uszczelniająca |
Zasada działania
W tradycyjnym procesie CVD prekursory w fazie gazowej będą reagować w sposób ciągły lub przynajmniej częściowo.w ALD
proces,jednak reakcje zachodzą tylko na powierzchni podłoża.Jest to cykliczny proces składający się z wielu
reakcje częściowe,to znaczy substrat styka się z prekursorami po kolei i reaguje asynchronicznie.w dowolnym
dany czas, tylko częścireakcje zachodzą na powierzchni podłoża.Te różne etapy reakcji są samoograniczające,
to znaczy związki namożna przygotować tylko powierzchnięprekursory odpowiednie do wzrostu filmu.Częściowe reakcje
są zakończone, gdyreakcje spontaniczne już nie występują.Proceskomora zostanie oczyszczona i/lub opróżniona
gazem obojętnym międzyróżneetapy reakcji w celu usunięcia wszystkich wytworzonych zanieczyszczeńprzez cząsteczki prekursorowe w
poprzednie procesy.
Cechy
| Model | ALD-PC-X—X |
| System folii do powlekania | glin2O3,TiO22,ZnO itp |
| Zakres temperatur malowania | Normalna temperatura do 500 ℃ (konfigurowalny) |
| Rozmiar komory próżniowej do powlekania | Średnica wewnętrzna: 1200 mm, wysokość: 500 mm (konfigurowalny) |
| Struktura komory próżniowej | Zgodnie z wymaganiami klienta |
| Próżnia w tle | <5×10-7mbar |
| Grubość powłoki | ≥0,15 nm |
| Precyzja kontroli grubości | ±0,1 nm |
| Rozmiar powłoki | 200×200mm² / 400×400mm² / 1200×1200mm² itp |
| Jednorodność grubości folii | ≤±0,5% |
| Gaz prekursorowy i nośny | Trimetyloglin, tetrachlorek tytanu, dietylocynk, czysta woda, |
| Uwaga: Dostępna produkcja na zamówienie. | |
Próbki powłok
Kroki procesu
→ Umieścić podłoże do powlekania w komorze próżniowej;
→ Odkurz komorę próżniową w wysokiej i niskiej temperaturze i synchronicznie obracaj podłoże;
→ Start powlekania: podłoże kontaktuje się z prekursorem w sekwencji i bez jednoczesnej reakcji;
→ Przedmuchaj go azotem o wysokiej czystości po każdej reakcji;
→ Przestań obracać podłoże, gdy grubość powłoki osiągnie standardową wartość, a operacja czyszczenia i chłodzenia zostanie zakończona
zakończone, a następnie wyjmij podłoże po spełnieniu warunków przerwania próżni.
Nasze atuty
Jesteśmy producentem.
Dojrzały proces.
Odpowiedz w ciągu 24 godzin roboczych.
Nasz certyfikat ISO
Części naszych patentów
Części naszych nagród i kwalifikacji w zakresie badań i rozwoju
Nasze produkty sprzedawane są na całym świecie. Możesz być spokojny o cały proces naszych produktów.
