Napylanie magnetronowe w przemyśle półprzewodnikowym
Aplikacje
| Aplikacje | Konkretny cel | typ materiału |
| półprzewodnikowy | IC, elektroda LSI, folia okablowania | AI, Al-Si, Al-Si-Cu, Cu, Au, Pt, Pd, Ag |
| Elektroda pamięci VLSI | Mo, W, Ti | |
| Folia barierowa dyfuzyjna | MoSix, Wsix, TaSix,, TiSx, W, Mo, W-Ti | |
| Folia samoprzylepna | PZT(Pb-ZrO2-Ti) , Ti, W |
Zasada działania
Zasada rozpylania magnetronowego: pod wpływem pola elektrycznego elektrony zderzają się z atomami argonu w procesie
lecąc do podłoża z dużą prędkością, jonizując mnóstwo jonów argonu i elektronów, a następnie elektrony lecą do
podłoże.Jony argonu bombardują cel z dużą prędkością pod działaniem pola elektrycznego, rozpryskując wiele celów
atomy, następnie neutralne docelowe atomy (lub cząsteczki) osadzają się na podłożu, tworząc filmy.
Cechy
| Model | MSC-SEM-X-X |
| Rodzaj powłoki | Różne folie dielektryczne, takie jak folia metalowa, tlenek metalu i AIN |
| Zakres temperatur malowania | Normalna temperatura do 500 ℃ |
| Rozmiar komory próżniowej do powlekania | 700 mm * 750 mm * 700 mm (konfigurowalny) |
| Próżnia w tle | < 5×10-7mbar |
| Grubość powłoki | ≥ 10 nm |
| Precyzja kontroli grubości | ≤ ±3% |
| Maksymalny rozmiar powłoki | ≥ 100 mm (konfigurowalny) |
| Jednorodność grubości folii | ≤ ±0,5% |
| Nośnik podłoża | Z planetarnym mechanizmem obrotowym |
| Materiał docelowy | 4 × 4 cale (kompatybilny z 4 calami i mniej) |
| Zasilacz | Zasilacze, takie jak DC, impulsowe, RF, IF i bias są opcjonalne |
| Gaz procesowy | Ar, N2, o2 |
| Uwaga: Dostępna produkcja na zamówienie. | |
Próbka powłoki
Kroki procesu
→ Umieścić podłoże do powlekania w komorze próżniowej;
→ Z grubsza odkurzyć;
→ Włącz pompę molekularną, odkurz na najwyższych obrotach, a następnie włącz obroty i obracanie;
→ Ogrzewanie komory próżniowej do osiągnięcia temperatury docelowej;
→ Wdrożyć stałą kontrolę temperatury;
→ Czyste elementy;
→ Obróć się i wróć do początku;
→ Folia powlekająca zgodnie z wymaganiami procesu;
→ Obniżyć temperaturę i zatrzymać zespół pompy po malowaniu;
→ Przestań działać, gdy operacja automatyczna zostanie zakończona.
Nasze atuty
Jesteśmy producentem.
Dojrzały proces.
Odpowiedz w ciągu 24 godzin roboczych.
Nasz certyfikat ISO
Części naszych patentów
Części naszych nagród i kwalifikacji w zakresie badań i rozwoju
Nasze produkty sprzedawane są na całym świecie. Możesz być spokojny o cały proces naszych produktów.
