Napylanie magnetronowe w przemyśle wyświetlaczy
Aplikacje
| Aplikacje | Konkretny cel | typ materiału |
| Wyświetlacz | Przezroczysta folia przewodząca | ITO(In2O; -SnO2) |
| Folia okablowania elektrody | Mo, W, Cr, Ta, Ti, Al, AlTi, AITa | |
| Folia elektroluminescencyjna | ZnS-Mn, ZnS-Tb, CaS-Eu, Y2O3, Ta2O5, BaTiO3 |
Zasada działania
Jako powszechna metoda fizycznego osadzania z fazy gazowej (PVD), rozpylanie magnetronowe ma wiele zalet, takich jak niska
temperatura osadzania, duża prędkość osadzania i dobra jednorodność osadzanych warstw.Tradycyjne rozpylanie
Technologia działa w następujący sposób: w środowisku o wysokiej próżni padające jony (Ar+) bombardują cel znajdujący się pod powierzchnią
działanie pola elektrycznego, aby neutralne atomy lub cząsteczki na powierzchni docelowej otrzymały wystarczającą energię kinetyczną, aby ją opuścić
powierzchnię docelową i osadzić na powierzchni podłoża, tworząc filmy.Jednak elektrony będą dryfować pod działaniem
pól elektrycznych i magnetycznych, co skutkuje niską wydajnością rozpylania.Prowadzą również krótkie ścieżki bombardowania elektronami
wzrost temperatury podłoża.W celu zwiększenia wydajności rozpylania, pod głowicą zainstalowany jest silny magnes
cel z biegunami N i S odpowiednio w środku i na obwodzie.Elektrony są ograniczone wokół celu pod
działanie siły Lorentza, stale poruszają się po okręgu, generując więcej Ar+ do bombardowania celu, aw końcu znacznie
zwiększyć wydajność rozpylania.
Cechy
| Model | MSC-DX-X |
| Rodzaj powłoki | Różne folie dielektryczne, takie jak folia metalowa, tlenek metalu i AIN |
| Zakres temperatur malowania | Normalna temperatura do 500 ℃ |
| Rozmiar komory próżniowej do powlekania | 700 mm * 750 mm * 700 mm (konfigurowalny) |
| Próżnia w tle | < 5×10-7mbar |
| Grubość powłoki | ≥ 10 nm |
| Precyzja kontroli grubości | ≤ ±3% |
| Maksymalny rozmiar powłoki | ≥ 100 mm (konfigurowalny) |
| Jednorodność grubości folii | ≤ ±0,5% |
| Nośnik podłoża | Z planetarnym mechanizmem obrotowym |
| Materiał docelowy | 4 × 4 cale (kompatybilny z 4 calami i mniej) |
| Zasilacz | Zasilacze, takie jak DC, impulsowe, RF, IF i bias są opcjonalne |
| Gaz procesowy | Ar, N2, o2 |
| Uwaga: Dostępna produkcja na zamówienie. | |
Próbka powłoki
Kroki procesu
→ Umieścić podłoże do powlekania w komorze próżniowej;
→ Z grubsza odkurzyć;
→ Włącz pompę molekularną, odkurz na najwyższych obrotach, a następnie włącz obroty i obracanie;
→ Ogrzewanie komory próżniowej do osiągnięcia temperatury docelowej;
→ Wdrożyć stałą kontrolę temperatury;
→ Czyste elementy;
→ Obróć się i wróć do początku;
→ Folia powlekająca zgodnie z wymaganiami procesu;
→ Obniżyć temperaturę i zatrzymać zespół pompy po malowaniu;
→ Przestań działać, gdy operacja automatyczna zostanie zakończona.
Nasze atuty
Jesteśmy producentem.
Dojrzały proces.
Odpowiedz w ciągu 24 godzin roboczych.
Nasz certyfikat ISO
Części naszych patentów
Części naszych nagród i kwalifikacji w zakresie badań i rozwoju
Nasze produkty sprzedawane są na całym świecie. Możesz być spokojny o cały proces naszych produktów.
