Napylanie magnetronowe w dziedzinie powłok dekoracyjnych
Aplikacje
Aplikacje | Konkretny cel | typ materiału |
Powłoka dekoracyjna | Folia kolorowa, Folia metalizowana | Glin2O3, TiO22i wszelkiego rodzaju folii metalowych |
Zasada działania
Napylanie magnetronowe ma na celu zwiększenie szybkości rozpylania poprzez wprowadzenie pola magnetycznego na powierzchnię docelową i użycie
pole magnetyczne w celu ograniczenia naładowanych cząstek w celu zwiększenia gęstości plazmy.
Cechy
Model | MSC-DC-X-X |
Rodzaj powłoki | Różne folie dielektryczne, takie jak folia metalowa, tlenek metalu i AIN |
Zakres temperatur malowania | Normalna temperatura do 500 ℃ |
Rozmiar komory próżniowej do powlekania | 700 mm * 750 mm * 700 mm (konfigurowalny) |
Próżnia w tle | < 5×10-7mbar |
Grubość powłoki | ≥ 10 nm |
Precyzja kontroli grubości | ≤ ±3% |
Maksymalny rozmiar powłoki | ≥ 100 mm (konfigurowalny) |
Jednorodność grubości folii | ≤ ±0,5% |
Nośnik podłoża | Z planetarnym mechanizmem obrotowym |
Materiał docelowy | 4 × 4 cale (kompatybilny z 4 calami i mniej) |
Zasilacz | Zasilacze, takie jak DC, impulsowe, RF, IF i bias są opcjonalne |
Gaz procesowy | Ar, N2, o2 |
Uwaga: Dostępna produkcja na zamówienie. |
Próbka powłoki
Kroki procesu
→Umieścić podłoże do powlekania w komorze próżniowej;
→ Z grubsza odkurzyć;
→ Włącz pompę molekularną, odkurz na najwyższych obrotach, a następnie włącz obroty i obracanie;
→ Ogrzewanie komory próżniowej do osiągnięcia temperatury docelowej;
→ Wdrożyć stałą kontrolę temperatury;
→ Czyste elementy;
→ Obróć się i wróć do początku;
→ Folia powlekająca zgodnie z wymaganiami procesu;
→ Obniżyć temperaturę i zatrzymać zespół pompy po malowaniu;
→ Przestań działać po zakończeniu operacji automatycznej.
Nasze atuty
Jesteśmy producentem.
Dojrzały proces.
Odpowiedz w ciągu 24 godzin roboczych.
Nasz certyfikat ISO
Części naszych patentów
Części naszych nagród i kwalifikacji w zakresie badań i rozwoju