Osadzanie magnetronowe w cienkowarstwowych bateriach perowskitowych
Aplikacje
| Aplikacje | Konkretny cel | typ materiału |
| Cienkowarstwowa bateria perowskitowa | Przezroczysta warstwa przewodząca | ZnO: Al |
Zasada działania
Rozpylanie magnetronowe polega na ograniczaniu i wydłużaniu torów ruchu elektronu przez pole magnetyczne, zmianie ruchu
kierunki elektronów, zwiększają szybkość jonizacji gazu roboczego i efektywnie wykorzystują energię elektronów.
Rozpylanie magnetronowe ma następujące cechy: szybka szybkość osadzania, wysoka wydajność osadzania, nadaje się do
zastosowanie na dużą skalę w produkcji przemysłowej;niska temperatura podłoża, odpowiednia do powlekania tworzyw sztucznych i
inne podłoża odporne na ciepło;wysoka czystość przygotowanych filmów, dobra zwartość, lepsza jednorodność i wytrzymałość filmu
spójność folii z podłożem;można przygotować folie metalowe, stopowe, tlenkowe i inne;wolny od zanieczyszczeń.
Cechy
| Model | MSC-PFB-X—X |
| Rodzaj powłoki | Różne folie dielektryczne, takie jak folia metalowa, tlenek metalu i AIN |
| Zakres temperatur malowania | Normalna temperatura do 500 ℃ |
| Rozmiar komory próżniowej do powlekania | 700 mm * 750 mm * 700 mm (konfigurowalny) |
| Próżnia w tle | < 5×10-7mbar |
| Grubość powłoki | ≥ 10 nm |
| Precyzja kontroli grubości |
≤ ±3% |
| Maksymalny rozmiar powłoki | ≥ 100 mm (konfigurowalny) |
| Jednorodność grubości folii | ≤ ±0,5% |
| Nośnik podłoża | Z planetarnym mechanizmem obrotowym |
| Materiał docelowy | 4 × 4 cale (kompatybilny z 4 calami i mniej) |
| Zasilacz | Zasilacze, takie jak DC, impulsowe, RF, IF i bias są opcjonalne |
| Gaz procesowy |
Ar, N2, o2 |
| Uwaga: Dostępna produkcja na zamówienie. | |
Próbka powłoki
Kroki procesu
→ Umieścić podłoże do powlekania w komorze próżniowej;
→ Z grubsza odkurzyć;
→ Włącz pompę molekularną, odkurz na najwyższych obrotach, a następnie włącz obroty i obracanie;
→ Ogrzewanie komory próżniowej do osiągnięcia temperatury docelowej;
→ Wdrożyć stałą kontrolę temperatury;
→ Czyste elementy;
→ Obróć się i wróć do początku;
→ Folia powlekająca zgodnie z wymaganiami procesu;
→ Obniżyć temperaturę i zatrzymać zespół pompy po malowaniu;
→ Przestań działać, gdy operacja automatyczna zostanie zakończona.
Nasze atuty
Jesteśmy producentem.
Dojrzały proces.
Odpowiedz w ciągu 24 godzin roboczych.
Nasz certyfikat ISO
Części naszych patentów
Części naszych nagród i kwalifikacji w zakresie badań i rozwoju
Nasze produkty sprzedawane są na całym świecie. Możesz być spokojny o cały proces naszych produktów.
