Osadzanie magnetronowe w przemyśle medycznym
Aplikacje
Aplikacje | Konkretny cel | typ materiału |
Leczenie | Materiały biokompatybilne | Glin2O3, TiO22 |
Zasada działania
Podstawową zasadą rozpylania magnetronowego jest to, że elektrony zderzają się z atomami argonu podczas lotu do
thepodłoże pod działaniem pola elektrycznego, wytworzone jony argonu bombardują powierzchnię docelową.Po energii
Wymieniać się,atomy na powierzchni docelowej uciekają z pierwotnej siecii są przenoszone na podłoże
powierzchnię do tworzenia filmów.
Cechy
Model | MSC-MT-X—X |
Rodzaj powłoki | Różne folie dielektryczne, takie jak folia metalowa, tlenek metalu i AIN |
Zakres temperatur malowania | Normalna temperatura do 500 ℃ |
Próżnia do powlekaniakomora size | 700 mm * 750 mm * 700 mm (konfigurowalny) |
Próżnia w tle | < 5×10-7mbar |
Grubość powłoki | ≥ 10 nm |
Precyzja kontroli grubości | ≤ ±3% |
Maksymalny rozmiar powłoki | ≥ 100 mm (konfigurowalny) |
Jednorodność grubości folii | ≤ ±0,5% |
Nośnik podłoża | Z planetarnym mechanizmem obrotowym |
Materiał docelowy | 4×4 cale (kompatybilny z 4 calami i mniej) |
Zasilacz | Zasilacze, takie jak DC, impulsowe, RF, IF i bias są opcjonalne |
Gaz procesowy | Ar, N2, o2 |
Uwaga: Dostępna produkcja na zamówienie. |
Próbka powłoki
Kroki procesu
→ Umieścić podłoże do powlekania w komorze próżniowej;
→ Z grubsza odkurzyć;
→ Włącz pompę molekularną, odkurz na najwyższych obrotach, a następnie włącz obroty i obracanie;
→ Ogrzewanie komory próżniowej do osiągnięcia temperatury docelowej;
→ Wdrożyć stałą kontrolę temperatury;
→ Czyste elementy;
→ Obróć się i wróć do początku;
→ Folia powlekająca zgodnie z wymaganiami procesu;
→ Obniżyć temperaturę i zatrzymać zespół pompy po malowaniu;
→ Przestań działać po zakończeniu operacji automatycznej;
Nasze atuty
Jesteśmy producentem.
Dojrzały proces.
Odpowiedz w ciągu 24 godzin roboczych.
Nasz certyfikat ISO
Części naszych patentów
Części naszych nagród i kwalifikacji w zakresie badań i rozwoju