Osadzanie przez napylanie magnetronowe w polu folii funkcjonalnej
Aplikacje
| Aplikacje | Konkretny cel | typ materiału |
| Folia funkcjonalna | Super twardy film | TiN, TiC |
|
Folia światłoodporna |
Cr, AlSi, AlTi itp | |
| Folia rezystancyjna | NiCrSi, CrSi, MoTa itp | |
| Film nadprzewodzący | YbaCuO, BiSrCa Cuo | |
| Folia magnetyczna | Fe, Co, Ni, FeMn, FeNi itp |
Zasada działania
Istnieje wiele rodzajów rozpylania magnetronowego o różnych zasadach działania i obiektach zastosowań.Ale tam
ma jedną wspólną cechę: sprawia, że elektrony poruszają się po spiralnych ścieżkach w pobliżu powierzchni docelowej poprzez interakcję między nimi
pola magnetyczne i elektryczne, zwiększając w ten sposób prawdopodobieństwo generowania jonów powstających z elektronów uderzających w argon.
Wygenerowane jony następnie uderzają w powierzchnię docelową pod działaniem pola elektrycznego i rozpylają materiały docelowe.
Cechy
| Model | MSC-FF-X—X |
| Rodzaj powłoki | Różne folie dielektryczne, takie jak folia metalowa, tlenek metalu i AIN |
| Zakres temperatur malowania | Normalna temperatura do 500 ℃ |
| Rozmiar komory próżniowej do powlekania | 700 mm * 750 mm * 700 mm (konfigurowalny) |
| Próżnia w tle | < 5×10-7mbar |
| Grubość powłoki | ≥ 10 nm |
| Precyzja kontroli grubości | ≤ ±3% |
| Maksymalny rozmiar powłoki | ≥ 100 mm (konfigurowalny) |
| Jednorodność grubości folii | ≤ ±0,5% |
| Nośnik podłoża | Z planetarnym mechanizmem obrotowym |
| Materiał docelowy | 4 × 4 cale (kompatybilny z 4 calami i mniej) |
| Zasilacz | Zasilacze, takie jak DC, impulsowe, RF, IF i bias są opcjonalne |
| Gaz procesowy | Ar, N2, o2 |
| Uwaga: Dostępna produkcja na zamówienie. | |
Próbka powłoki
Kroki procesu
→ Umieścić podłoże do powlekania w komorze próżniowej;
→ Z grubsza odkurzyć;
→ Włączyć pompę molekularną, odkurzyćprzy maksymalnej prędkości, a następnie włącz obrót i obrót;
→ Ogrzewanie komory próżniowej do osiągnięcia tempcel;
→ Wdrożyć stałą kontrolę temperatury;
→ Czyste elementy;
→ Obróć się i wróć do początku;
→ Folia powlekająca zgodnie z wymaganiami procesu;
→ Obniżyć temperaturę i zatrzymać zespół pompy po malowaniu;
→ Przestań działać, kiedyoperacja automatyczna jest zakończona.
Nasze atuty
Jesteśmy producentem.
Dojrzały proces.
Odpowiedz w ciągu 24 godzin roboczych.
Nasz certyfikat ISO
Części naszych patentów
Części naszych nagród i kwalifikacji w zakresie badań i rozwoju
Nasze produkty sprzedawane są na całym świecie. Możesz być spokojny o cały proces naszych produktów.
